PROCESSES OF SENESCENCE OF SURFACE LAYERS OF MONOCRISTALIV OF THE GGG IONS NE+ MODIFIED BY IMPLANTATION
Keywords:
single crystal, ion implantation, dynamic theory, strange profiles, amorphisation, relative deformation.Abstract
The crystalline structure changes, which happened during 3 years in surface layers of GGG single crystals implanted by Не + ions, are studied on the basis of the results of X-ray structural analysis. The strange profiles calculated from experimental diffraction reflection curves are presented. The explanation of mechanisms of origin and relaxation of defects is offered from point of modern ideas about given processes passing on the basis time changes of their parameters.
References
1. Кон В.Г., Прилепский М.В., Суходрева И.М. Простой метод определения структуры нарушенного поверхностного слоя монокристаллов из рентгенодифракционных данных // Поверхность. – 1984. – No11. – C.122-128.
2. Balestrino G., Lagomarsino S., Milani E. at al. Reconstruction mechanism in ion implanted yttrium iron garnet films. – 1988. – V.63(8). – р. 2751-2755.
3. Яремій І.П. Рентгенодифрактометричне дослідження приповерхневих шарів монокристалічних плівок ЗІГ, імплантованих іонами В + // Фізика і хімія твердого тіла. –2003. –No 4 (3). – С. 451-455.
4. Риссел Х., Руге И. Ионная имплантация. – М.: Наука, 1983. – 320 с.
5. Клингер М.И., Лущик Ч.Б., Машовец Т.Л. и др. Создание дефектов в твердых телах при распаде электронных возбуждений // УФН. – 1985. – т.165, В.3. – С.523-558.
6. Клингер М.И., Лущик Ч.Б., Машовец Т.Л., Холодарь Г.А., Шейкман М.К., Эланго М.А. Создание дефектов в твердых телах при распаде электронных возбуждений // УФН. – 1985. – Т.147, В.3. – С.523-558.
7. Вавилов В.С., Челядинский А.Р. Ионная имплантация примесей в монокристаллы кремния: эффективность метода и радиационные нарушения // УФН. – 1995. – Т.165, В.3. – С.347-358.
8. Квантовомеханический подход к образованию дефектных состояний в гадолиний – галлиевых гранатах / Довгый Я.О., Китык В.И., Матковский А.О., Сугак Д.Ю, Убизский С.Б. // ФТТ. – 1992. – Т. 34, No4. – С. 1078- 1087.
9. О возможном механизме аморфизации поверхности феррит– гранатовых пленок вследствие ионной имплантации / Остафийчук Б.К., Ткачук В.М., Ворончак О.Н., Яворский Б.И.// Металлофизика и новейшие технологии. – 1994. – Т. 16, No8. – С. 51- 54.
10. MolodkinV.B., Olikhovskii S.I., Kislovskii E.N., Len E.G., and Pervak E.V. Bragg diffraction of X-rays by single crystals with large microdefects. I. Generalized dynamical theory // Phys. Stat. solidi. B.– 2001.– 227, No 2. – P.429-447.
11. Olikhovskii S.I., Molodkin V.B., Kislovskii E.N., Len E.G., and Pervak E.V. Bragg diffraction of X-rays by single crystals with large microdefects. II. Dynamical diffuse scattering amplitude and intensity // Phys. Stat. solidi. B.– 2002.– 231, No 1. – P.199-212.
12. Диффузное рассеяние рентгеновских лучей в ионноимплантированных кристалах / Олиховский С.И., Молодкин В.Б., Кисловский Е.Н., Лень Е.Г., Владимирова Т.П., Скакунова Е.С., Остафийчук Б.К.// Металлофизика и новейшие технологии. – 2005. – Т. 27, No5. – С. 653- 675.
13. Кривоглаз М.А. Дифракция рентгеновских лучей и нейтронов в неидеальных кристаллах. – Киев: Наук. думка, 1983. – 408с.
14. Fabbri R, G. Lulli, Nipoti R. and Servidori M. X-ray diffraction analysis of damage accumulation due to the nuclear energy loss of 50keV and 1-2.2 MeV B ions implanted in silicon // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. – 1993. – B80/81. –P.624-627.
2. Balestrino G., Lagomarsino S., Milani E. at al. Reconstruction mechanism in ion implanted yttrium iron garnet films. – 1988. – V.63(8). – р. 2751-2755.
3. Яремій І.П. Рентгенодифрактометричне дослідження приповерхневих шарів монокристалічних плівок ЗІГ, імплантованих іонами В + // Фізика і хімія твердого тіла. –2003. –No 4 (3). – С. 451-455.
4. Риссел Х., Руге И. Ионная имплантация. – М.: Наука, 1983. – 320 с.
5. Клингер М.И., Лущик Ч.Б., Машовец Т.Л. и др. Создание дефектов в твердых телах при распаде электронных возбуждений // УФН. – 1985. – т.165, В.3. – С.523-558.
6. Клингер М.И., Лущик Ч.Б., Машовец Т.Л., Холодарь Г.А., Шейкман М.К., Эланго М.А. Создание дефектов в твердых телах при распаде электронных возбуждений // УФН. – 1985. – Т.147, В.3. – С.523-558.
7. Вавилов В.С., Челядинский А.Р. Ионная имплантация примесей в монокристаллы кремния: эффективность метода и радиационные нарушения // УФН. – 1995. – Т.165, В.3. – С.347-358.
8. Квантовомеханический подход к образованию дефектных состояний в гадолиний – галлиевых гранатах / Довгый Я.О., Китык В.И., Матковский А.О., Сугак Д.Ю, Убизский С.Б. // ФТТ. – 1992. – Т. 34, No4. – С. 1078- 1087.
9. О возможном механизме аморфизации поверхности феррит– гранатовых пленок вследствие ионной имплантации / Остафийчук Б.К., Ткачук В.М., Ворончак О.Н., Яворский Б.И.// Металлофизика и новейшие технологии. – 1994. – Т. 16, No8. – С. 51- 54.
10. MolodkinV.B., Olikhovskii S.I., Kislovskii E.N., Len E.G., and Pervak E.V. Bragg diffraction of X-rays by single crystals with large microdefects. I. Generalized dynamical theory // Phys. Stat. solidi. B.– 2001.– 227, No 2. – P.429-447.
11. Olikhovskii S.I., Molodkin V.B., Kislovskii E.N., Len E.G., and Pervak E.V. Bragg diffraction of X-rays by single crystals with large microdefects. II. Dynamical diffuse scattering amplitude and intensity // Phys. Stat. solidi. B.– 2002.– 231, No 1. – P.199-212.
12. Диффузное рассеяние рентгеновских лучей в ионноимплантированных кристалах / Олиховский С.И., Молодкин В.Б., Кисловский Е.Н., Лень Е.Г., Владимирова Т.П., Скакунова Е.С., Остафийчук Б.К.// Металлофизика и новейшие технологии. – 2005. – Т. 27, No5. – С. 653- 675.
13. Кривоглаз М.А. Дифракция рентгеновских лучей и нейтронов в неидеальных кристаллах. – Киев: Наук. думка, 1983. – 408с.
14. Fabbri R, G. Lulli, Nipoti R. and Servidori M. X-ray diffraction analysis of damage accumulation due to the nuclear energy loss of 50keV and 1-2.2 MeV B ions implanted in silicon // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. – 1993. – B80/81. –P.624-627.
Published
2019-03-08
How to Cite
Остафійчук, Б. К., Федорів, В. Д., Яремій, І. П., & Яремій, С. І. (2019). PROCESSES OF SENESCENCE OF SURFACE LAYERS OF MONOCRISTALIV OF THE GGG IONS NE+ MODIFIED BY IMPLANTATION. PRECARPATHIAN BULLETIN OF THE SHEVCHENKO SCIENTIFIC SOCIETY. Number, (1(1), 141–150. Retrieved from https://pvntsh.nung.edu.ua/index.php/number/article/view/346
