ПРОЦЕСИ СТАРІННЯ ПРИПОВЕРХНЕВИХ ШАРІВ МОНОКРИСТАЛІВ ГГГ, МОДИФІКОВАНИХ ІМПЛАНТАЦІЄЮ ІОНІВ НЕ+

  • Богдан Костянтинович Остафійчук Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника
  • Василь Дмитрович Федорів Івано-Франківський національний технічний університет нафти і газу
  • Іван Петрович Яремій Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника
  • С. І. Яремій Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника
Ключові слова: монокристал, іонна імплантація, динамічна теорія, профілі деформації, аморфізація, відносна деформація.

Анотація

На основі аналізу результатів рентгеноструктурних досліджень вивчалися зміни кристалічної структури, які відбулися через 3 роки після імплантації іонів Не+ в приповерхневі шари монокристалів ГГГ. 
Представлено розраховані з експериментальних КДВ профілі відносної деформації. На основі змін у часі їх параметрів запропоновано пояснення механізмів утворення та релаксації дефектів з погляду сучасних уявлень про перебіг даних процесів.

Посилання

1. Кон В.Г., Прилепский М.В., Суходрева И.М. Простой метод определения структуры нарушенного поверхностного слоя монокристаллов из рентгенодифракционных данных // Поверхность. – 1984. – No11. – C.122-128.
2. Balestrino G., Lagomarsino S., Milani E. at al. Reconstruction mechanism in ion implanted yttrium iron garnet films. – 1988. – V.63(8). – р. 2751-2755.
3. Яремій І.П. Рентгенодифрактометричне дослідження приповерхневих шарів монокристалічних плівок ЗІГ, імплантованих іонами В + // Фізика і хімія твердого тіла. –2003. –No 4 (3). – С. 451-455.
4. Риссел Х., Руге И. Ионная имплантация. – М.: Наука, 1983. – 320 с.
5. Клингер М.И., Лущик Ч.Б., Машовец Т.Л. и др. Создание дефектов в твердых телах при распаде электронных возбуждений // УФН. – 1985. – т.165, В.3. – С.523-558.
6. Клингер М.И., Лущик Ч.Б., Машовец Т.Л., Холодарь Г.А., Шейкман М.К., Эланго М.А. Создание дефектов в твердых телах при распаде электронных возбуждений // УФН. – 1985. – Т.147, В.3. – С.523-558.
7. Вавилов В.С., Челядинский А.Р. Ионная имплантация примесей в монокристаллы кремния: эффективность метода и радиационные нарушения // УФН. – 1995. – Т.165, В.3. – С.347-358.
8. Квантовомеханический подход к образованию дефектных состояний в гадолиний – галлиевых гранатах / Довгый Я.О., Китык В.И., Матковский А.О., Сугак Д.Ю, Убизский С.Б. // ФТТ. – 1992. – Т. 34, No4. – С. 1078- 1087.
9. О возможном механизме аморфизации поверхности феррит– гранатовых пленок вследствие ионной имплантации / Остафийчук Б.К., Ткачук В.М., Ворончак О.Н., Яворский Б.И.// Металлофизика и новейшие технологии. – 1994. – Т. 16, No8. – С. 51- 54.
10. MolodkinV.B., Olikhovskii S.I., Kislovskii E.N., Len E.G., and Pervak E.V. Bragg diffraction of X-rays by single crystals with large microdefects. I. Generalized dynamical theory // Phys. Stat. solidi. B.– 2001.– 227, No 2. – P.429-447.
11. Olikhovskii S.I., Molodkin V.B., Kislovskii E.N., Len E.G., and Pervak E.V. Bragg diffraction of X-rays by single crystals with large microdefects. II. Dynamical diffuse scattering amplitude and intensity // Phys. Stat. solidi. B.– 2002.– 231, No 1. – P.199-212.
12. Диффузное рассеяние рентгеновских лучей в ионноимплантированных кристалах / Олиховский С.И., Молодкин В.Б., Кисловский Е.Н., Лень Е.Г., Владимирова Т.П., Скакунова Е.С., Остафийчук Б.К.// Металлофизика и новейшие технологии. – 2005. – Т. 27, No5. – С. 653- 675.
13. Кривоглаз М.А. Дифракция рентгеновских лучей и нейтронов в неидеальных кристаллах. – Киев: Наук. думка, 1983. – 408с.
14. Fabbri R, G. Lulli, Nipoti R. and Servidori M. X-ray diffraction analysis of damage accumulation due to the nuclear energy loss of 50keV and 1-2.2 MeV B ions implanted in silicon // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. – 1993. – B80/81. –P.624-627.
Опубліковано
2019-03-08
Розділ
Фізика і хімія твердого тіла

##plugins.generic.recommendByAuthor.heading##